主題故事 〉清華大學-林本堅用半百資歷,打造清大半導體跨域三才
2023-5-05

穿上全套無塵衣及裝備,走過風淋室,映入眼簾的是微影及蝕刻等全套高精密晶圓製程設備,這座隱身在清華大學後山的實驗室,是清華大學半導體研究學院的學生們認識半導體業界的起點。而院長林本堅也希望透過學院的系列課程培育出具備「專才、通才、活才」,將「三才」集於一身的新一代半導體領導人才。

累積了美、歐、亞共五十年的半導體產業資歷,被譽為「浸潤式微影之父」的林本堅,有感於臺灣在地緣政治及國際政經環境、社會因素等綜合影響下,面臨的半導體人才流失危機,在國發基金和十二家相關企業支持之下創立半導體研究學院。這學院分成元件、設計、材料、製程四部,培養碩、博士級研發人才,並鼓勵優秀的學生逕行修讀博士,以五至六年時間拿到學位,無縫接軌產業。

高額獎助學金+明星級業師群=搶才秘技

相對於在歐美,就讀博士幾乎等同就業,有足以支持生活的獎助學金收入,清大半導體研究學院也希望以同樣的方式創造誘因。

因此,學院每月提撥碩士生六千至一萬元、博士生二至三萬元的獎助學金,再加上每位學生最多可以接受兩家企業的獎學金,加起來可能比大學或碩士畢業後直接就業還高。「但我們對企業的獎學金設上限,也要求不能綁住學生,避免限縮他們未來就業的選擇。」這是林本堅對於教育的堅持。

為了開出符合產業現況的課表,半導體研究學院重新整合分散在各系所的課程,並且檢視目前產業亟需、在校內卻缺乏的課程,由產學合作、採取模組化教學,培養學生的即戰力。目前已申請逕修讀博士學位的製程部呂柏勳說,這樣的模式可以增加學生學習動力,「尤其是高蔡勝老師開設的『光學鄰近修正』整合大量理論,單一系所很難開課,但卻是未來進入半導體製程很重要的技術。」

擔任半導體製程部主任的高蔡勝,到學院前是台積電研發處的處長,林本堅過往在台積電任副總時的好搭檔。除此之外,包括東京威力資深副總裁Peter Loewenhardt、台積電卓越科技院士暨副總經理余振華、艾司摩爾副總經理嚴濤南、協理陳俊光、科磊研發處長趙強、力積電研發副總經理暨技術長張守仁等高階經理人,皆齊聚清大半導體學院擔任業師。同時,林本堅也延請臺大、中山大學相關領域的教授前來開課或辦理講座,期盼激盪出更多學術量能。

有鑒於部分業師、教授會把學生當成業界工程師開研討會的標準來準備教材,造成投影片張數太多、細節過多,學生無法吸收。於是林本堅會幫業師寫索引、跟他們分享自己過去教短課程的經驗,「一小時最多二十張投影片就好,最重要的是要讓學生聽得懂。」也就是這樣培養專才的堅持,讓從機械系畢業的呂柏勳在缺乏相關知識背景的情況下,也能從容吸收林本堅的「光學微影」課程。

建構永續育才的制度

為了培養通才,學院每個分部都開設導讀課,列為其他分部學生的必修,在課程中也帶入目前半導體產業生態與國際政經情勢的影響,培養學生跨域的基本能力。再透過清大必修的「書報討論」,針對熱門議題及趨勢,邀請合作企業或其他產業的高階主管分享經驗和人生故事,開拓學生視野,打造活才,「我們把十八般武藝都交給學生,就看他們怎麼運用囉!」林本堅笑著說。

這的確成功吸引到不少學生,呂柏勳觀察,「以材料導讀來說,就連我或其他從不同領域轉戰半導體、從零開始的學生,都可以在學期內從基礎學到應用,成績也不別人差,」再加上導讀課串起各分部的學生,打造出小業界的氛圍,讓他們從學生時期的研究就開始思考跨域的可能性。

未來,林本堅希望半導體專屬院館在五年內能夠完工啟用,更長遠的規劃則是成立大學部,整合半導體所需要的硬科學基礎能力與政治經濟等軟實力課程,向下札根,建立一套永續的半導體人才培育制度。


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